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半導體行業應用超純水設備,實現清洗用水的高純度

時間:2023-11-13

  半導體行業的發展面臨著一些挑戰。其中之一是半導體的制造需要使用大量的水資源。在半導體的制造過程中,需要使用超純水來清洗半導體芯片,去除表面殘留的微粒和金屬離子。因此,超純水設備的性能對半導體的制造質量有著重要的影響。

  據了解,在半導體的制造過程中,需要保證其生產的清潔程度,所以使用的超純水設備產出的超純水作為清洗用水,其出水水質可以達到電子級或工業級的水質標準。一旦水質不純,就會導致半導體芯片表面殘留的微粒和金屬離子不能完全去除,從而影響半導體的性能和質量。因此,超純水設備的出水水質對半導體的制造至關重要。

超純水設備

  目前市面上常用的超純水設備應用反滲透工藝和EDI系統相結合的工藝來制取超純水。該設備出水電阻率可達16 MΩ*cm(25℃),具有環保、經濟、發展潛力巨大等諸多優勢。具體優勢如下:

  1、超純水設備內應用膜技術法,在保證系統高回收率的同時,有效提高系統的產水水質。

  2、超純水設備可以連續穩定地制備出質量良好的超純水,不會因為樹脂再生問題而停止運行,設備結構設計比較嚴密,所以其占地面積非常小,可以為企業節省大量空間。

  3、超純水設備內應用的EDI系統無須酸堿再生,是一種新型的脫鹽方式。該系統運行成本低、自動化程度高,可連續工作,出水水質好且穩定。

  4、超純水設備遇故障能夠立即自停,具有自動保護功能,且具有能耗低、水利用率高等優勢。

  總之,超純水設備在半導體行業中具有非常重要的應用價值,可有效實現清洗用水的高純度。它不僅可以清洗半導體芯片表面的微粒和金屬離子,還可以制備高純度的化學試劑。同時,超純水設備也需要符合半導體制造過程中的嚴格要求,以保證出水水質的穩定性和可靠性。

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  編輯:柒柒   技術:米

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